(1)脱硫后烟气接入除雾设施，去除烟气中的水雾及烟尘。
(2)将除雾后烟气接入初步的水洗喷淋层，去除烟气中的剩余的SO2、NOX和烟尘等有害物质，同时对烟气进行初步降温，喷淋水可以循环利用，酸度达到一定程度后可以引入脱硫池作添加水使用，不新增废水。
(3)烟气脱白设备采用两层喷淋冷凝、水汽分离装置对烟气进一步的降温，喷淋水可以用降温泵降温，也可不用，此步重在降温，同时降低绝对含湿量。
(4)将降温后烟气接入高效除雾层，因为通过降温后的烟气含湿量比较高，处于过饱和状态，要去除烟气中的多余水汽。
(5)将除雾烟气接入超净设施，进一步去除烟气中的水雾和烟尘等有害物质，烟尘含量将小于5mg/m3。
(6)将烟气接入换热装置，对烟气进行加热，以达到降低相对含湿量的效果。