国产半导体设备研发亮点

2010-10-25 LED环球在线2030

核心提示：上海微电子装备：　　封装光刻机目前已经在生产线中应用。　　北方微电子：　　2005年9月第一台8英寸100纳米等离子刻蚀机进入中

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