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真空炉是在真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。最高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。
真空炉都应该进行检漏的吧,而氦质谱检漏仪是目前准确的检漏方式,所以是都用氦气检漏。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、接收器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中常见问题是压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但压力不合格，所以经常对真空炉进行检漏或测漏。
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