臭氧在工业废水处理中应用十分普遍，常见的有对含酚、含氰及印染废水处理等。臭氧能使氰络盐中的氰迅速分解，其反应为两步，先将剧毒的CN-氧化为CNO-，以后再进一步氧化为CO2和N2，能使有毒废水的毒性降低100倍左右。臭氧对含酚废水处理，其对酚的降解速度与臭氧投加量与时间有关，且反应中PH值越高反应越快，臭氧消耗越小。臭氧对除分散染料以外的所有染料废水都有脱色能力，他可以破坏染料中的发色或助色基因，达到脱色效果。国内一项试验表明，在色度高达1800-2500倍， COD为1100-1800mg/L时，在特定条件下，臭氧可在15min内脱色率达99%，COD去除率接近90%。因工业废水程度不一，计算臭氧投加量时，一般通过试验得出数据。
